中國科學(xué)院微電子研究所EDI超純水項目成套設(shè)備工程

中國科學(xué)院微電子研究所是我國第一個電子與信息科學(xué)技術(shù)的綜合型研究所,。經(jīng)過五十多年的發(fā)展,，電子所現(xiàn)有在職職工863人，其中科技人員579人,，包括中國科學(xué)院院士1人,，研究員65人、副研究員,、高級工程師147人,，“國家杰出青年科學(xué)基金”獲得者2人，中科院“百人計劃”入選者7人,，并已形成了微波成像雷達(dá)及其應(yīng)用技術(shù),、微波器件與技術(shù)、高功率氣體激光技術(shù),、傳感器與微系統(tǒng)技術(shù)和空間信息處理與應(yīng)用領(lǐng)域五個優(yōu)勢學(xué)科以及探地雷達(dá)和FPGA技術(shù)兩個新技術(shù)增長點(diǎn),。